XLA/XLAV（波紋管密封,單一的表演）Particulate-free和潔凈室兼容煽風(fēng)點(diǎn)火類型Pressure-balance機(jī)制XLC/XLCV（波紋管密封,雙動）Particulate-free和潔凈室兼容煽風(fēng)點(diǎn)火類型Pressure-balance機(jī)制XLF/XLFV（o形環(huán)密封,單一的表演）低氣體夾帶就業(yè)的o形環(huán)密封系統(tǒng)高速度響應(yīng)通過一種特殊的減少顆粒物表面治療的軸封。

日本SMC鋁制高真空L型閥XLG/XLGV（o形環(huán)密封,雙動）低氣體夾帶就業(yè)的o形環(huán)密封系統(tǒng)高速度響應(yīng)通過一種特殊的減少顆粒物表面治療的軸封。

XLD/XLDV（2-Step控制、單表演）初期排氣閥和主要排氣閥結(jié)合起來。2-step（流量控制閥）設(shè)計(jì)了一種緊湊系統(tǒng)和減少管道防止顆粒湍流內(nèi)0.9%室在疲憊。

防止泵運(yùn)行時(shí)超載。

初始排氣閥流量可調(diào)。

XLH（波紋管密封、手動）波紋管式微粒自由及清洗。

壓力平衡機(jī)制允許無限制排氣的方向。

低驅(qū)動力矩（0.5牛頓·米或更少）春天提供標(biāo)準(zhǔn)的密封負(fù)載。

處理高度是一樣的密封圈,當(dāng)閥門開啟或關(guān)閉。

確認(rèn)指示器開啟和關(guān)閉閥門是標(biāo)準(zhǔn)配置。

波紋管的壓力平衡,XLS（正常關(guān)閉XLS電磁）微粒也會減少,因?yàn)槟抢餂]有滑動金屬部分。

壓力平衡機(jī)制允許無限制排氣的方向。

控制電源電路的電磁閥驅(qū)動已經(jīng)取得了標(biāo)準(zhǔn)。

可以用于便攜式設(shè)備因?yàn)榭諝鉃轵?qū)動器是沒有必要的。

XL系列鋁高真空角閥低的新法成為可能使用一個低容量泵和也疏散時(shí)間縮短。

這種閥門不包含等重金屬鎳（鎳）或鉻（）和低鉻濺射產(chǎn)量也可幫助重金屬污染zui小化的半導(dǎo)體器件晶圓。

優(yōu)良的熱傳導(dǎo)性的結(jié)果在均勻溫度為整個閥體、明顯下降在氣體內(nèi)冷凝閥。

問囊括的沒有汽車開關(guān)（沒有內(nèi)建的磁鐵）的話固態(tài)自動開關(guān)沒有汽車開關(guān)（帶內(nèi)置磁鐵）里德汽車開關(guān)（并不適用法蘭尺寸16）汽車開關(guān)類型t如何訂購象征零D類型西北）滴定（凱西（DN）適用法蘭16日、25名、40名,50歲,63歲,8063,80w法蘭連接式XLAXLA/XLAV系列鋁高真空角閥正常關(guān)閉/波紋管密封問法蘭尺寸大小y數(shù)量的汽車開關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒有汽車開關(guān)2件。

安裝的位置-閥門開啟和關(guān)閉開啟閥門閥門處于關(guān)閉狀態(tài)r溫度規(guī)格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°C你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠（EPDM）桶等Kalrez

VMQFKM為等離子體ULTIC裝甲

復(fù)合不。1349-80/2101-80/70WUA46404079SS592SS630SSE381232-70/3310-75

三菱電纜行業(yè)產(chǎn)生的有限責(zé)任公司。

身體表面處理象征零一個表面處理外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:原材料外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:草酸陽極氧化桶等是一個注冊商標(biāo)的Matsumura石油有限公司。

Kalrez是一個注冊商標(biāo)的杜邦公司績效彈性體。

Chemraz是一個注冊商標(biāo)的格林,斜紋軟呢和股份有限公司。

ULTIC裝甲是一個注冊商標(biāo)的行業(yè),垂詢。Valqua新日鐵注）尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。

艾凡指標(biāo)/飛行員港口方向象征零AFGJKLM試點(diǎn)港方向指示器沒有指標(biāo)與指標(biāo)沒有指標(biāo)法蘭邊法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對法蘭面左法蘭面后方法蘭面對法蘭面法蘭邊后方法蘭面左法蘭面對法蘭面汽車開關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格（溫度規(guī)格,H2,H3 H0）。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長度是0.5米。

加入“L”的zui后部分3米,是理想的數(shù)量時(shí),“m”時(shí),可達(dá)1米“Z”當(dāng)5米。

例）-M9NL密封材料改變部分和泄漏象征零ABC改變部分沒有是別的東西,而不是“零”（標(biāo)準(zhǔn)）,列表的符號開始以緊隨其后的是每個符號為“身體表面處理,”

“密封材料”,再選擇“改變分離。”

例）XLA-16-M9NA-XAN1A注2）注1）值在常溫下,不含氣體滲透。

注2）,是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”為改變部分14頁。

部件號碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。

XLC問t y16 M9N一個你是囊括的鋁高真空角閥雙動/波紋管密封XLC/XLCV系列問法蘭尺寸大小162540506380y數(shù)量的汽車開關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒有汽車開關(guān)2件。

安裝的位置-閥門開啟和關(guān)閉開啟閥門閥門處于關(guān)閉狀態(tài)注）尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。

象征零汽車開關(guān)模型-D-A90（L）D-A93（L）-的話沒有汽車開關(guān)（沒有內(nèi)建的磁鐵）固態(tài)自動開關(guān)沒有汽車開關(guān)（帶內(nèi)置磁鐵）里德汽車開關(guān)（并不適用法蘭尺寸16）汽車開關(guān)類型t艾凡試點(diǎn)港方向象征零KLM試點(diǎn)港方向法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對法蘭面法蘭邊后方法蘭面左法蘭面對法蘭面r溫度規(guī)格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°C如何訂購XLC象征零D類型西北）滴定（凱西（DN）適用法蘭16日、25名、40名,50歲,63歲,8063,80w法蘭連接式密封材料改變部分和泄漏你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠（EPDM）桶等Kalrez

1349-80/2101-80/0WUA46404079SS592SS630SSE381232-70/3310-75

三菱電纜行業(yè)產(chǎn)生的有限責(zé)任公司。

身體表面處理象征零一個表面處理外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:原材料外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:草酸陽極氧化訂購的是別的東西,而不是“零”（標(biāo)準(zhǔn)）,列表的符號開始以“X”,緊隨其后的是每個符號為“身體表面處理,”

“密封材料”,再選擇“改變分離。”

例）XLC-16-M9NA-XAN1A象征零ABC改變部分沒有w,ew艾凡泄漏（Pa·立方米/秒或更少）注1）內(nèi)部13×10 - 10（FKM）9注2）注1）值在常溫下,不含氣體滲透。

注2）,是指零件數(shù)目的“建構(gòu)”18頁上的改變部分。部件號碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。

汽車開關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格（溫度規(guī)格,H2,H3 H0）。加入“L”末端的部件編號當(dāng)3米,是理想的,“m”當(dāng)1米,和“Z”當(dāng)5米。

XLF作出秩序y數(shù)量的汽車開關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒有汽車開關(guān)2件。

安裝的位置-閥門開啟和關(guān)閉開啟閥門閥門處于關(guān)閉狀態(tài)r溫度規(guī)格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°C注）尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。

象征零前（L）A93（L）M9//汽車開關(guān)模型-D-A90（L）D-A93（L）-的話沒有汽車開關(guān)（沒有內(nèi)建的磁鐵）固態(tài)自動開關(guān)沒有汽車開關(guān)（帶內(nèi)置磁鐵）里德汽車開關(guān)（并不適用法蘭尺寸16）汽車開關(guān)類型t例）-M9NL汽車開關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格（溫度規(guī)格,H2,H3 H0）。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長度是0.5米。加入“L”

zui后的部分,當(dāng)數(shù)字3米,是理想的,“m”當(dāng)1米,和“Z”當(dāng)5米。

密封材料改變部分和泄漏你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠（EPDM）桶等Kalrez

1349-80/2101-80/70WUA46404079SS592SS630SSE381232-70/3310-75

三菱電纜行業(yè)產(chǎn)生的有限責(zé)任公司。

身體表面處理象征零一個表面處理外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:原材料外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:草酸陽極氧化訂購的是別的東西,而不是“零”（標(biāo)準(zhǔn)）,列表的符號開始以“X”,緊隨其后的是每個符號為“身體表面處理,”

“密封材料”,再選擇“改變分離。”

例）XLF-40-M9NA-XAN1A象征零ABC改變部分沒有w,ew艾凡泄漏（Pa·立方米/秒或更少）注1）內(nèi)部13×10 - 10（FKM）值在常溫下,不含氣體滲透。

注2）,是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”為改變部分第22頁。

部件號碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。

注2）訂做的規(guī)格（有關(guān)詳情,請參閱第24頁至29）20鋁高真空角閥正常關(guān)閉/ o形環(huán)密封XLF/XLFV系列如何訂購法蘭邊后方法蘭面左法蘭面對法蘭面問法蘭尺寸大小162540506380100160艾凡指標(biāo)/飛行員港口方向象征零AFGJKLM指標(biāo)沒有指標(biāo)試點(diǎn)港方向與指標(biāo)沒有指標(biāo)法蘭邊法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對法蘭面左法蘭面后方法蘭面對法蘭面象征零D類型西北）滴定（凱西（DN）適用法蘭16日、法蘭連接式象征EVL AV畝嗨你CAV汞148.5117117 3XLA-16-X65艾凡一個0問2:1r7.5鋁高真空角閥/正常關(guān)閉/ o形環(huán)密封系列XLF定制規(guī)格1請咨詢與SMC詳細(xì)尺寸規(guī)格和交貨。

帶旁路閥（法蘭尺寸:80）（40）（40）（40）導(dǎo)聯(lián)線長度:500毫米（L型:3000毫米）刮刀（FKM）軸封（FKM）飛行員端口:旁路閥門調(diào)節(jié)螺母排氣（初始）調(diào)整1毫米/旋轉(zhuǎn)音高:

Rc1/8試點(diǎn)港:

鎖緊螺母平面寬度在13部件沒有。

122:13456788 - 18勝2負(fù)910身體閥帽組件o形環(huán)六角套筒頭帽螺絲o形環(huán)計(jì)算機(jī)銘板汽車開關(guān)指標(biāo)旁路閥門o形環(huán)o形環(huán)o形環(huán)六角套筒頭帽螺絲A6063指部分沒有。

M10、l = 60指部分沒有。

選項(xiàng)選項(xiàng)指部分沒有。

M4、l = 40描述資料的話o形環(huán)零件號碼。

密封材料的象征零N1P1*R1R2R3S1T1U1外部密封內(nèi)部密封2:1 ro形環(huán)零件號碼。

密封材料的象征零N1P1*R1R2R3S1T1U18 - 8勝2負(fù)外部密封內(nèi)部密封外部密封o型注）一層真空油脂（氟油脂:Y-VAC2）應(yīng)用于軸封、刮板和o形環(huán)o型。

B2401-V85VB2401-V85-XN1B2401-V85-XP1B2401-V85-XQ1B2401-V85-XR1B2401-V85-XR2B2401-V85-XR3B2401-V85-XS1B2401-V85-XT1B2401-V85-XU1AS568-045VAS568-045-XN1AS568-045-XP1AS568-045-XQ1AS568-045-XR1AS568-045-XR2AS568-045-XR3AS568-045-XS1AS568-045-XT1AS568-045-XU1B2401-V15VB2401-V15-XN1B2401-V15-XP1B2401-V15-XQ1B2401-V15-XR1B2401-V15-XR2B2401-V15-XR3B2401-V15-XS1B2401-V15-XT1B2401-V15-XU1AS568-025VAS568-025-XN1AS568-025-XP1AS568-025-XQ1AS568-025-XR1AS568-025-XR2AS568-025-XR3AS568-025-XS1AS568-025-XT1AS568-025-XU1AS568-017VAS568-017-XN1AS568-017-XP1AS568-017-XQ1AS568-017-XR1AS568-017-XR2AS568-017-XR3AS568-017-XS1AS568-017-XT1AS568-017-XU1不銹鋼不銹鋼24作出秩序如何訂購問法蘭尺寸大小162540506380y數(shù)量的汽車開關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒有汽車開關(guān)2件。

安裝的位置-閥門開啟和關(guān)閉開啟閥門閥門處于關(guān)閉狀態(tài)注）尺寸16不適用于H2,H3,25碼的不是為H2。

象征零沒有汽車開關(guān)（沒有內(nèi)建的磁鐵）的話固態(tài)自動開關(guān)沒有汽車開關(guān)（帶內(nèi)置磁鐵）里德汽車開關(guān)（并不適用法蘭尺寸16）汽車開關(guān)類型t汽車開關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格（溫度規(guī)格,H2,H3 H0）。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長度是0.5米。

加入“L”的zui后部分3米,是理想的數(shù)量時(shí),“m”時(shí),可達(dá)1米“Z”當(dāng)5米。

例）-M9NL問e r t y uXLGw16 M9N一個艾凡試點(diǎn)港方向象征零KLM試點(diǎn)港方向法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對法蘭面后方法蘭面左法蘭面對法蘭面艾凡大面積AV畝嗨你C AVH G你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠（EPDM）桶等Kalrez

VMQFKM為等離子體ULTIC裝甲復(fù)合不。1349-80/2101-80/70WUA46404079SS592SS630SSE381232-70/3310-75

三菱電纜行業(yè)產(chǎn)生的有限責(zé)任公司。

身體表面處理象征零一個表面處理外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:原材料外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:草酸陽極氧化r溫度規(guī)格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°CXLG鋁高真空角閥雙動/ o形環(huán)密封XLG/XLGV系列象征零D類型西北）滴定（凱西（DN）適用法蘭16日、25名、40名,50歲,63歲,8063,80w法蘭連接式法蘭邊密封材料改變部分和泄漏訂購的是別的東西,而不是“零”（標(biāo)準(zhǔn)）,列表的符號開始以“X”,緊隨其后的是每個符號為“身體表面處理,”

“密封材料”,再選擇“改變分離。”

例）XLG-40-M9NA-XAN1A象征零ABC改變部分沒有w,ew艾凡泄漏（Pa·立方米/秒或更少）注1）內(nèi)部13×10 - 10（FKM）常溫下,不含氣體滲透。

注2）,是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”32頁為改變的部分。

部件號碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。

注3）部分e（外部密封）是不可改變規(guī)格為16至25歲。

注2）訂做的規(guī)格（詳情,請參閱第34頁到43）30作出秩序XLD問囊括的如何訂購問法蘭尺寸大小2540506380艾凡試點(diǎn)港方向象征零KLM試點(diǎn)港方向法蘭邊左法蘭面后方法蘭面對法蘭面象征零D類型西北）滴定（凱西（DN）適用法蘭25法蘭連接式后方法蘭面左法蘭面對法蘭面法蘭邊注）25碼的不適用于H2。

r溫度規(guī)格/加熱器象征零高溫度類型H0H2H3溫度5到60°C5到150°C加熱器--用100°C加熱器加熱器和120°Cy數(shù)量的汽車開關(guān)/安裝的位置象征零ABC數(shù)量沒有汽車開關(guān)2件。

安裝的位置-閥門開啟和關(guān)閉開啟閥門閥門處于關(guān)閉狀態(tài)象征零前（L）A93（L）M9//汽車開關(guān)模型-D-A90（L）D-A93（L）-的話沒有汽車開關(guān)（沒有內(nèi)建的磁鐵）固態(tài)自動開關(guān)沒有汽車開關(guān)（帶內(nèi)置磁鐵）里德汽車開關(guān)汽車開關(guān)類型t例）-M9NL汽車開關(guān)并非是適用于高溫規(guī)格（溫度規(guī)格,H2,H3 H0）。標(biāo)準(zhǔn)導(dǎo)聯(lián)線長度是0.5米。加入“L”

zui后的部分,當(dāng)數(shù)字3米,是理想的,“m”當(dāng)1米,和“Z”當(dāng)5米。

你的身體表面處理/密封材料及其變化的部分密封材料象征零N1*R1R2R3S1T1U1P1密封材料FKM三元乙丙橡膠（EPDM）桶等Kalrez

Chemraz

VMQFKM為等離子體ULTIC裝甲

三菱電纜行業(yè)產(chǎn)生的有限責(zé)任公司。

身體表面處理象征零一個表面處理外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:原材料外部:硬質(zhì)陽極化內(nèi)部:草酸陽極氧化密封材料改變部分和泄漏訂購的是別的東西,而不是“零”（標(biāo)準(zhǔn)）,列表的符號開始以“X”,緊隨其后的是每個符號為“身體表面處理,”

“密封材料”,再選擇“改變分離。”

例）XLD-25-M9NA-XAN1A象征零ABC改變部分沒有魏

注2）,是指零件數(shù)量的“建構(gòu)”頁47為改變的部分。

部件號碼的數(shù)字表示“建構(gòu)”進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。

注3）的變化,以密封材料的部分號碼r S閥密封總成是*適用規(guī)格為25歲,40到50。

注2）,3）44鋁高真空角閥2-Step控制、單經(jīng)銷商/波紋管密封,o形環(huán)密封帕特。

XLD/XLDV系列XLS 25 - P - 1克XLS - 25 - 5克DTCGDIN終端終端水管Grommet電氣入口95別人（48歲,100伏直流電）24伏直流電起始電壓注）維持電壓是25%的起始電壓。

無控制電源電源和控制高真空角閥（波紋管壓力平衡,2段電壓開關(guān)型）閥門通徑1625KF16KF25控制電源P與控制電源125100伏交流電200伏交流電24伏直流電電壓G Grommet電氣入口警告（1）如沒有控制電源（XLS-25 - VDC）,開始:24/48/100電壓應(yīng)該申請只0.15%到0.2 s,按照規(guī)定的方法（上所注明的線圈）的后面。不斷起始電壓應(yīng)用的原因過熱的線圈和火?？毓呻妷菏?5%的起始電壓（申請書嗎方法是顯示在后面的電磁線圈）。

開始電壓例）電壓6伏直流電0.15%到0.2時(shí)間（s）24伏直流電控股電壓52鋁高真空角閥電磁/波紋管壓力平衡如何訂購系列XLS55常見的選擇項(xiàng)目熱水器額定電壓90到125伏交流電加熱器（名義值）的功率WIn-rush /電力消費(fèi)（期權(quán)標(biāo)志）XL-25-200/30XL-40200/40400/70XL-50200/60400/80XL-63400/100600/130XL-80600/150800/180XL-100800/2201200/300XL-1601200/3501600/400H2 100°CH3 120°C注）的電流就In-rush加熱為幾十秒,然后將平息下來。

請參閱“維修零件”61頁為進(jìn)一步的細(xì)節(jié)關(guān)于數(shù)量和類型。

1加熱器常見的閥門加熱器,XLD模型,XLC XLA XLG和XLH,XLF,。

功耗規(guī)格列于下表。

XLXLQD -XVDXGTCYVXMXY3256詞匯密封材料請注意,以下是一般特點(diǎn)和主題改變依靠加工條件。有關(guān)詳情,請與我們manufacturerers密封組件。

粉碎FKM）（新法,低permanent-setting較低和較低的氣體滲透利率,這是的密封材料為高真空。

標(biāo)準(zhǔn)材質(zhì)采用SMC的高真空使用角度三菱電纜行業(yè)閥門有限公司。（沒有。1349化合物-80）。

明智的做法是選擇一款造型依靠它的應(yīng)用,提出了一種改進(jìn)的材料復(fù)合（因?yàn)?310-75）從而降低體重減薄率與O2等離子體是可用的。

KalrezKalrez是一個注冊商標(biāo)的杜邦公司績效彈性體。

這份材料,perfluoroelastomer（FFKM）,具有優(yōu)良的熱和耐化學(xué)腐蝕性能,但它是大的,permanent-setting特別謹(jǐn)慎是必需的。用改進(jìn)后的變化是可得到的等離子體（O2,CF4）和顆粒電阻,所以它選擇類型是明智的基礎(chǔ)上應(yīng)用。

沒有。4079化合物:標(biāo)準(zhǔn)Kalre*良、氣體和耐熱性。

ChemrazChemraz是一個注冊商標(biāo)的格林,斜紋軟呢和股份有限公司。

這份材料,perfluoroelastomer（FFKM）,具有優(yōu)良的化學(xué)物質(zhì)和等離子體電阻值的稍高的耐熱性比FKM。好幾個不同的Chemraz是可得到的明智的做法是,選擇基于特定的等離子體被用來和其他條件,等。

桶桶等是一個注冊商標(biāo)等的Matsumura石油有限公司。

Perfluoroelastomer 70W號:化合物（FFKM）而未含有金屬填料。可抵御、NH3 NF3。低顆粒發(fā)生在干燥的工藝條件。

ULTICULTIC裝甲盔甲注冊商標(biāo)是日本Valqua行業(yè),有限公司。

Fluoro-based橡膠,不含金屬填料。密封這是plasma-resistant材料,具有較低的氣體通量密度和耐熱性。

硅橡膠、硅樹脂（VMQ）這種材料也相對便宜,具有良好的等離子體阻力,但它的氣體滲透率高。

可選的密封材料用SMC的高真空角閥三菱電纜行業(yè)是有限責(zé)任公司。（沒有。1232-70化合物,白色）它有一個低減肥比、低顆粒污染的發(fā)生在O2等離子體和NH3氣體環(huán)境。

三元乙丙橡膠（Ethylenepropylene橡膠）較低的定價(jià),良好的耐候性、化學(xué)和耐熱性,但沒有抵抗,一般在把所有的礦物油?？蛇x的密封材料所使用的高真空SMC角度三菱電纜行業(yè)閥門有限公司。（復(fù)合不。

2101-80）耐氨氣體等。

優(yōu)良的物理性能,尤其是有效的運(yùn)轉(zhuǎn)件。

適用于固定和移動部分和兼容各種各樣的應(yīng)用。

Chemrazzui干凈的資料中,發(fā)達(dá)的高密度等離子體的樂器。

方法1軸封波紋管波紋管密封與降低粒子提供干凈的世代和更少的新法。兩大類型:Formedbellows慘叫和Welded-bellows。Formed-bellows少產(chǎn)生灰塵灰塵或提供更高的抵抗。Welded-bellows允許中風(fēng),但長產(chǎn)生更多的塵埃和提供更少灰塵的抵抗。請注意,忍耐取決于長度和速度的中風(fēng)。

o形環(huán),等。

由于誘導(dǎo)作用對氣體的生成和微粒、真空性能略遜于波紋管類型。

然而,高速運(yùn)轉(zhuǎn)是可能的和耐用性比較高。一般來說,氟油脂加蓋軸封分。

響應(yīng)時(shí)間/操作時(shí)間的開啟閥門從應(yīng)用的電壓驅(qū)動等閥（XL）直至90%的閥門沖程已經(jīng)完成開啟閥門的響應(yīng)時(shí)間。開啟閥門操作時(shí)間的從一開始就表明了時(shí)間的中風(fēng),直到90%的運(yùn)動任務(wù)已經(jīng)完成了。這兩種變得更快了操作壓力增加。

閥門關(guān)閉從切斷了電力的電磁閥的驅(qū)動（XL）直至90%的閥門是中風(fēng)已完成回歸閥門關(guān)閉響應(yīng)時(shí)間。閥門關(guān)閉操作時(shí)間的表示從閥門開啟度的時(shí)間回來直到90%的運(yùn)動任務(wù)已經(jīng)完成了。這兩種變慢的操作壓力增加。58XL系列特定產(chǎn)品的預(yù)防措施1一定要讀在處理。

設(shè)計(jì)氣動角閥/系列（V）,XLC XLA（V）,XLD（V）,XLF（V）,XLG（V）所有模型1。對于高真空閥門用于主要的排氣管線死板顯示面板的生產(chǎn)設(shè)備和其他大型制造設(shè)備,XLF（V）或XLG（V）系列、用人o形環(huán)密封型,為改善耐久性、是被推薦的。

2。當(dāng)控制閥門的回應(yīng),注意到的尺寸和長度的管道,以及流量的特點(diǎn)電磁閥的工作。

3。工作壓力應(yīng)保持在規(guī)定的范圍內(nèi)。

0.4 - 0.5 MPa是被推薦的。

4。使用范圍內(nèi)操作壓力范圍。

5。驅(qū)動的活塞室和波紋管腔[除了XLF（V）/ XLG（V）]能直接連接到大氣中。

請用在一個環(huán)境中,粉塵排放將不是根本原因問題。（請參閱SMC如果釋放塵埃必須避免的。）高溫/類型,XLC XLA XLD XLG,XLF,,1。在案件的氣體,造成大量的存款,熱閥體閥門,以防止礦床。

選擇小心所有模型1。在高濕度環(huán)境,保持閥門包裝直到時(shí)間安裝。

2。萬一與開關(guān)和電磁閥,以便確保導(dǎo)線他們有足夠的蕭條的時(shí)候,沒有任何不合理的力量適用于他們。

3。所以,過度執(zhí)行管道武力不是用于法蘭部分。萬一有振動的重的物體或附件,等他們,使轉(zhuǎn)矩、安全不是直接用于法蘭之間。

安裝小心室真空泵波紋管側(cè)閥側(cè)推薦排氣方向[真空泵連接對波紋管側(cè)）所有模型1。是A6063閥體材料、風(fēng)箱也是不銹鋼的316L、及其他金屬密封材料采用不銹鋼304。標(biāo)準(zhǔn)密封材料的真空區(qū)是FKM,即可其他材料的性質(zhì)發(fā)生變化（請參閱“如何訂購”）。

使用流體是兼容與材料后確認(rèn)。

2。選擇材料做的沖動的壓力管道,和耐熱性為配件,這適合于適用的操作溫度范圍內(nèi)正常工作。

與汽車開關(guān)/ XLA模型（V）,XLC（V）,XLD（V）,XLF（V）,XLG（V）1。開關(guān)部分應(yīng)該是保持在一個溫度沒有更大的了超過60°C。

模型,XLC加熱器,XLD/XLA,XLG,XLF1。當(dāng)使用一個模型,一個加熱器（熱敏電阻器）,一個裝置應(yīng)該被安裝,以防止經(jīng)濟(jì)過熱。

電磁閥/ XLAV模型,XLDV,XLCV,XLGV XLFV,1。為模型,用電磁閥電磁閥的溫度閥門段也應(yīng)不大于50°C。

警告1。安裝前,清潔表面的法蘭密封,打鼾與乙醇等。

2。有一個0.1至0.2毫米凹陷的為了保護(hù)法蘭密封表面,它應(yīng)該如何處理,使密封表面并沒有被損壞。

3。排氣方向在運(yùn)行過程中,方向的排氣可能是確定的在這種情況下的自由,但是流的地方產(chǎn)生的廢氣、在耐久性下降可能的結(jié)果。

排氣方向下面（圖中波紋管的一面排氣）是被推薦的。

請把所有可用的預(yù)防措施,為設(shè)備的使用壽命是受條件的用法。

管道小心4。正常操作,抗震性允許長達(dá)30米/ s2（45到250赫茲）,但持續(xù)下降振動可能引起耐久性。為了避免過度安排管道振動或沖擊的影響。

高溫類型（模型/ XLA XLC XLF,XLD,,,XLG;溫度規(guī)格/ H0,H2,H3）1。在模型與加熱器（熱敏電阻器）,小心不要造成的傷害絕緣零件的導(dǎo)線、連接器的部分。

2。設(shè)置熱水器溫度應(yīng)該建立模型沒有匯票或隔熱。它將改變不同在條件如熱保留措施和供暖其他的管道。一些細(xì)微調(diào)整,針對的是不可能的。

3。當(dāng)安裝熱水器配件或安裝一個加熱器、檢查絕緣電阻在實(shí)際的工作溫度。一個短線路斷路器或保險(xiǎn)絲應(yīng)該安裝。

4。當(dāng)一個閥門需要加熱,只有軀體部分應(yīng)該是加熱時(shí),不含蓋部分。

5。當(dāng)一個加熱器在操作中,整個閥會變熱。是小心,不要碰它,因?yàn)槿紵庥檬志蛯a(chǎn)生。