瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）

簡要描述：瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）
25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質(zhì)和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中，例如次晶圓廠工藝。該系列有角度 (25.0)、串聯(lián) (25.1) 和 3向2通路設計 (25.2) 可供選擇，每個版本均采用最大電導率。

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瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）

任何條件下都能提供可靠的隔離25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質(zhì)和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中，例如次晶圓廠工藝。該系列有角度 (25.0)、串聯(lián) (25.1) 和 3向2通路設計 (25.2) 可供選擇，每個版本均采用最大電導率。

為提供耐用性和較長的正常運行時間，25.2 高真空鋼瓶閥系列具有密封保護系統(tǒng)，兼具鋼瓶設計的高流導和更長的密封壽命等優(yōu)勢。該密封保護系統(tǒng)通過鋼瓶傾斜-轉(zhuǎn)動-傾斜的動作工作，在該動作中，鋼瓶會通過提起動作移除閥座上的閘封，以避免任何摩擦、密封磨損以及粒子的生成。在全開啟（90° 旋轉(zhuǎn)后）的情況下，傾斜-轉(zhuǎn)動-傾斜的動作還會將密封件輕柔地壓向閥體，防止密封件接觸氣流中可能存在的磨蝕粒子。斷電時，閥體機構(gòu)將被鎖定在打開或關(guān)閉位置，維持閥體最后的位置。

25.2 高真空鋼瓶閥系列已經(jīng)安裝在數(shù)千個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中，證明了其可靠性。

25.2 高真空鋼瓶閥為氣動型，帶有作為外部安裝配件的電磁閥。閥門位置通過 LED 燈（10-30?VDC，5-100?mA）指示。

法蘭連接器的標準選項為 ISO-KF 和 ISO-KF“羊角型"。標準閥板密封采用氟橡膠?？杉煽蛻舴ㄌm以及特殊功能，例如加熱筒、其他密封材料或不銹鋼類型。

瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）

25.2 高真空鋼瓶閥的主要特點

適用于惡劣環(huán)境，設計可靠、成熟
傾斜-旋轉(zhuǎn)-傾斜機制，保護密封
最大流導

優(yōu)勢：

性能可靠
維護量少，可輕松維護
擁有成本較低
瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥（三/雙向型）

技術(shù)數(shù)據(jù)

尺寸(DN)

16 mm (?")
25 mm (1")
40 mm (1?’’)

驅(qū)動器

氣動，雙作用

機體材料

鋁

標準法蘭

ISO-KF
ISO-KF "爪子"

泄漏率

閥體

< 1 x 10-9 mbar ls-1

閥座

< 1 x 10-9 mbar ls-1

壓力范圍

1 × 10-8 mbar 至 3 bar (abs)

閘門上的壓差

在關(guān)閉的方向

≤ 1.2 bar

在打開的方向

≤ 3.0 bar

打開時的壓差

≤ 1.2 bar

循環(huán)直到第一次維修

100 000

溫度

閥體

≤ 120°C

驅(qū)動器

≤ 120°C

位置指示器

≤ 80 °C

材料

閥體

EN AW-6060 (3.3206)
EN AW-6082 (3.2315)

閘門

EN AW-6082 (3.2315)

法蘭

EN AW-6082 (3.2315)

軸

AISI 316L (1.4435)

閘門

帶有Ni-PTFE涂層的A4-80

密封

閥蓋

FKM

閘門

FKM

饋通件

FKM

饋通件

旋轉(zhuǎn)式饋通件

安裝位置

任何

位置指示器：接觸等級

閥體

≤ 10 – 30 VDC

目前

5 – 100 mA

閘閥位置顯示器

LED

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