日本豐興AD-SL231D-916D-TOYOOKI

1. 產(chǎn)品概述

• 型號：AD-SL231D-916D

• 品牌：豐興（Toyoko Koki）

• 類型：氣動(dòng)高真空角閥（Pneumatic Angle Valve）

• 定位：專為嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境設(shè)計(jì)，適用于超高真空（UHV）、高溫及腐蝕性氣體工況，常見于半導(dǎo)體、光伏和精密鍍膜設(shè)備。

2. 核心特點(diǎn)

（1）高性能密封

• 泄漏率：<1×10?? Pa·m3/s（金屬密封），滿足半導(dǎo)體級真空要求。

• 密封選項(xiàng)：

• 金屬密封（銅/鋁）：耐高溫（最高250°C），抗等離子體腐蝕。

• 氟橡膠（FKM）：適用于常溫及一般腐蝕性氣體（如O?、N?）。

（2）耐腐蝕與耐高溫

• 閥體材質(zhì)：SUS316L不銹鋼（默認(rèn)），抗鹵素氣體（Cl?、HBr）腐蝕。

• 表面處理：電解拋光（EP）或鍍鎳，減少顆粒污染和氣體吸附。

（3）快速響應(yīng)與長壽命

• 驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)（標(biāo)準(zhǔn)），開關(guān)時(shí)間 ≤0.3秒，支持高頻操作（>100萬次循環(huán)壽命）。

• 可選電動(dòng)驅(qū)動(dòng)：集成位置反饋，兼容PLC控制（24VDC/220VAC）。

3. 技術(shù)參數(shù)

4. 與同系列型號對比

5. 典型應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體設(shè)備：

• 刻蝕機(jī)腔室隔離、ALD/CVD反應(yīng)腔的氣體通路控制。

• 光伏與顯示面板：

• PECVD、濺射鍍膜機(jī)的真空系統(tǒng)閥門切換。

• 科研與航天：

• 粒子加速器、太空模擬艙的真空隔離。

6. 選型與安裝建議

• 關(guān)鍵選型因素：

1. 氣體兼容性：若涉及腐蝕性氣體（如NF?、SiH?），需確認(rèn)密封材質(zhì)（金屬優(yōu)先）。

2. 溫度需求：高溫工藝（>200°C）必須選擇金屬密封。

3. 法蘭標(biāo)準(zhǔn)：需與現(xiàn)有管道匹配（如CF法蘭需配銅墊圈）。

• 安裝注意：

• 避免機(jī)械應(yīng)力扭曲閥體，安裝后需做氦檢漏測試。

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